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Sputtertargets Vakuum-Beschichtungsanlagen America Asia Pacific Europe
CH DEUTSCHLAND


AMT Sputter Deposition Cathode AMT Andreas Mattil - www.andreas-mattil.de
- Talstraße 33, 67737 Frankelbach, Deutschland

email: info@andreas-mattil.de, Tel. +49 (0) 6308 2 09 97 88

AMT wurde 2020 in Kaiserslautern gegründet und liefert UHV-Komponenten, -Systeme und -Elektronik.
Produkte: MAK Sputter Deposition Cathode





COPRA Plasmaquellen CCR GmbH Beschichtungstechnologie
- Camp-Spich-Strasse 3a, 53842 Troisdorf, Deutschland

email, Tel.

CCR GmbH, Beschichtungstechnologie ist ein Hersteller für induktiv gekoppelte RF-Plasmaquellen für fortschrittliche Thin-Film Beschichtungen und Plasma.
Produkte: COPRA Plasmaquellen


FHR FHR Anlagenbau GmbH
Am Hügel 2, 01458 Ottendorf-Okrilla, Deutschland

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Produkte: Sputterquellen, Magnetronquellen

Doppelring-Magnetronquellen sind rotationssymetrische planare Quellen, die aus einer inneren Scheibe und einem äußeren Ring bestehen.

Durch den Einsatz von Doppelring-Magnetrons wird es möglich, größere Substratdurchmesser (oberhalb 100 mm) mit einer hohen Schichtdickenhomogenität stationär zu beschichten:
  • Substratgröße 6" bei stationärer Beschichtung
  • DC, HF, MF - Sputtern
  • Targets elektrisch leitend oder isolierend
  • Getrennte Magnetfeldregelung
  • integrierter Gaseinlaß


ROBEKO Beschichtungsquellen ROBEKO -
- Ackerwiese 14, 67728 Munchwiler, Deutschland

Rolf Schaefer, email, Tel.

Der Eigentümer verfügt über 15 Jahre Erfahrung in Konstruktion, Herstellung und Verkauf von Komponenten der Vakuum- und Dünnschichttechnik.
Produkte: Beschichtungsquellen, Sputtermagnetrons

Reaktivgaskontrolle, Plasmastromversorgungen, Beschichtungsmaterialien, Sputtertargets, Aufdampfmaterialien

 

 

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